MEMS集成应用的纳米结构PZT厚膜形成工艺研究

• 作者: 刘红梅 张德庆 张辉军 曹茂盛 邱成军
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: nano-PZT 厚膜 MEMS
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 新材料技术
• 页码范围: 606-609
• 页数: 4页
• 分类号: TN91
• 字数: 2075字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2006.06.012

摘要

提出了制备PZT厚膜的一种新的旋转涂覆方法.采用0-3复合法将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,并与PZT溶胶交替涂覆在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上,使PZT厚度达2μm,并且使PZT表面质量得到了改善.利用XRD和SEM对PZT厚膜的组织和结构进行了表征.得到的薄膜无裂纹,结晶和表面平整度良好,可用于MEMS中微型传感器和微型驱动器的制作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辉军	哈尔滨工程大学材料科学与工程系	10	50	4.0	6.0
3	邱成军	哈尔滨工程大学材料科学与工程系	35	231	6.0	14.0
5	张德庆	哈尔滨工程大学材料科学与工程系	4	13	2.0	3.0
6	曹茂盛	北京理工大学材料科学与工程学院	64	562	14.0	22.0
7	刘红梅	哈尔滨工程大学材料科学与工程系	12	58	4.0	7.0