斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析

• 作者: 刘世杰 孔伟金 沈建 沈自才 范正修 邵建达
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 斜角入射沉积 渐变折射率 填充系数
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 核物理学
• 页码范围: 5157-5160
• 页数: 4页
• 分类号: O57
• 字数: 1759字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.10.029

摘要

斜角入射沉积法是一种制备薄膜的新颖方法,它可以用来制备渐变折射率薄膜.本文首先探讨了膜料的沉积入射角为α,薄膜柱状生长倾斜角为β时的薄膜的填充系数;之后利用drude理论,分析研究了斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率与薄膜的入射角和生长方向的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	沈建	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	37	4.0	5.0
6	孔伟金	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	74	5.0	8.0
10	沈自才	中国科学院上海光学精密机械研究所	15	140	8.0	11.0
14	刘世杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	29	104	5.0	9.0