基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究

• 作者: 丁雷 尚德广 张大成 沈通 贾冠华 阎楚良
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微机电系统 疲劳 梳状驱动器 有限元方法 机电耦合分析
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 684-689
• 页数: 6页
• 分类号: TP3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2006.05.011

摘要

设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置,该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作.对所设计的MEMS(micro-electro-mechanical system)疲劳试验装置中的圆弧梳状驱动器的电容及静电驱动力进行理论分析,并采用ANSYS机电耦合单元对装置的振动过程进行模拟,模拟结果与理论分析相吻合.研究结果表明在一定范围交流电压的驱动下试样能达到MEMS疲劳测试所要求的应力水平,并对该电压范围进行预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尚德广	北京工业大学机电学院	53	512	13.0	21.0
2	张大成	北京大学微电子学系	43	793	13.0	27.0
3	丁雷	北京工业大学机电学院	6	17	3.0	4.0
4	沈通	北京工业大学机电学院	6	28	3.0	5.0
5	贾冠华	北京工业大学机电学院	6	14	2.0	3.0
6	阎楚良	北京工业大学机电学院	6	25	3.0	5.0