超支化聚合物抗蚀剂的感光性能

• 作者: 冯宗财
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 工学
• 关键词: 抗蚀剂 超支化聚合物 感光性能
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 新材料与新技术
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: TQ31
• 字数: 1938字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2006.05.008

摘要

通过凝胶率对曝光能量的变化,研究显影液、光敏剂用量等对超支化聚合物光致抗蚀剂感光性能的影响.结果表明:四甲基氢氧化胺水溶液对超支化聚合物光致抗蚀剂的溶解能力比碳酸钠强,对感光性具有较大的影响;当显影液相同时,随着引发剂的量增大,E0,gel减小,反差γgel在引发剂的用量为6%时,可达到8.13,E0,gel达到5.5mJ/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯宗财	湛江师范学院化学系	24	83	5.0	7.0