温梯法生长大尺寸蓝宝石晶体的脱碳去色退火研究

• 作者: 司继良 周国清 周圣明 周永宗 徐军 朱人元 王银珍 邓佩珍 钱小波
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: Al2O3晶体 去色 脱碳 退火
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 245-248
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 555字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.02.009

摘要

温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)生长的Al2O3晶体因石墨发热体在高温时的挥发和原料中过渡性金属离子的存在,在不同部位呈现不同颜色,一般上部为浅红色,尾部为浅黄绿色.将TGT法生长的Al2O3晶体(φ110×80mm3)依次经过高温氧化气氛、高温还原气氛脱碳、去色退火实验,即"两步法"退火实验,晶体变成无色、透明.经测试,Al2O3晶体的完整性、光学透过率和光学均匀性均有显著提高.