用于光学调整的二维纳米级微动台的设计分析

• 作者: 孙立宁 荣伟彬 陈伟 马立
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性铰链 微动工作台 固有频率 有限元分析 光学调整
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 微光学
• 页码范围: 44-50
• 页数: 7页
• 分类号: TP242
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.08.009

摘要

研究开发了一种用于光学调整的二维压电驱动的纳米级微动工作台,建立了工作台的力学模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿X、Y方向刚度及前二阶固有频率的解析式.通过微动工作台固有频率及沿X、Y方向刚度的实验测试,验证了解析方法和有限元方法用于微动工作台设计分析的可行性.有限元分析结果表明,可通过改变直角平板柔性铰链的特征参数,达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的,并提出一种初选微动工作台柔性铰链参数的简易方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈伟	哈尔滨工业大学机器人研究所	286	3566	30.0	44.0
2	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人研究所	98	1491	23.0	33.0
3	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
4	马立	哈尔滨工业大学机器人研究所	15	446	10.0	15.0