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摘要:
研究开发了一种用于光学调整的二维压电驱动的纳米级微动工作台,建立了工作台的力学模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿X、Y方向刚度及前二阶固有频率的解析式.通过微动工作台固有频率及沿X、Y方向刚度的实验测试,验证了解析方法和有限元方法用于微动工作台设计分析的可行性.有限元分析结果表明,可通过改变直角平板柔性铰链的特征参数,达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的,并提出一种初选微动工作台柔性铰链参数的简易方法.
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文献信息
篇名 用于光学调整的二维纳米级微动台的设计分析
来源期刊 光电工程 学科 工学
关键词 柔性铰链 微动工作台 固有频率 有限元分析 光学调整
年,卷(期) 2006,(8) 所属期刊栏目 微光学
研究方向 页码范围 44-50
页数 7页 分类号 TP242
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.08.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈伟 哈尔滨工业大学机器人研究所 286 3566 30.0 44.0
2 荣伟彬 哈尔滨工业大学机器人研究所 98 1491 23.0 33.0
3 孙立宁 哈尔滨工业大学机器人研究所 379 7003 43.0 61.0
4 马立 哈尔滨工业大学机器人研究所 15 446 10.0 15.0
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研究主题发展历程
节点文献
柔性铰链
微动工作台
固有频率
有限元分析
光学调整
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光电工程
月刊
1003-501X
51-1346/O4
大16开
四川省成都市双流350信箱
1974
chi
出版文献量(篇)
4776
总下载数(次)
5
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
论文1v1指导