多丝切割机走丝系统的张力控制

• 作者: 梁永 程志华 裴仁清 赵懿峰
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多丝切割 张力控制 速度差 张力控制电机
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 页码范围: 980-983
• 页数: 4页
• 分类号: TG669
• 字数: 3326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2006.08.025

摘要

多丝切割是一种新兴的硅片切片加工方法,在硅片的多丝切割加工中,金属丝的张力控制是影响加工的重要因素,本文分析了多丝切割机走丝系统的特点,采用张力控制电机实现走丝系统的速度差张力控制.仿真结果表明该方法可以满足走丝系统张力控制的高精度、高响应速度、波动小的控制要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	裴仁清	上海大学机电工程与自动化学院	48	422	13.0	18.0
2	程志华	上海大学机电工程与自动化学院	16	43	4.0	6.0
3	梁永	上海大学机电工程与自动化学院	3	29	2.0	3.0
4	赵懿峰	上海大学机电工程与自动化学院	4	40	3.0	4.0