GaAs MMIC用无源元件的模型

• 作者: 严北平 刘新宇 吴德馨 杨威 王显泰 申华军 葛霁 陈延湖
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MMIC 矩形螺旋电感 MIM电容 薄膜电阻 多项式拟合公式
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1872-1879
• 页数: 8页
• 分类号: TN303
• 字数: 3460字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.10.034

摘要

制作了不同结构参数的GaAs MMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2,NiCr薄膜电阻的方块电阻约为16.1Ω/□.分析结构参数对螺旋电感性能的影响可知,减小线圈面积相关的寄生损耗有助于获得高品质的电感.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘新宇	中国科学院微电子研究所	141	717	13.0	18.0
2	吴德馨	中国科学院微电子研究所	58	345	11.0	14.0
3	杨威	中国科学院微电子研究所	60	460	11.0	19.0
4	葛霁	中国科学院微电子研究所	10	72	5.0	8.0
5	严北平	中国科学院微电子研究所	4	39	3.0	4.0
6	申华军	中国科学院微电子研究所	14	68	5.0	8.0
7	王显泰	中国科学院微电子研究所	13	77	5.0	8.0
8	陈延湖	中国科学院微电子研究所	6	54	5.0	6.0