MEMS显微干涉测量系统中相移器性能的研究

• 作者: 傅星 胡小唐 胡春光 郭彤 陈津平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 显微干涉术 相移器 误差分析
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 测试、检测与控制
• 页码范围: 1500-1503,1508
• 页数: 5页
• 分类号: TN62
• 字数: 3796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.050

摘要

显微干涉测量方法是一种被广泛使用的高精度表面测量方法,其中相移器的性能直接影响到系统测量的精度.对MEMS测量系统中使用的压电陶瓷相移器的主要误差源,包括迟滞、非线性和蠕变等进行了分析,并对开环条件下的相移器运动进行了标定.实验分别在开环和闭环条件下测量了经过NIST认证的标准44 nm台阶,说明了两种条件下的测量精度,10次测量的平均值分别为41.34 m和43.24 nm,标准偏差分别为2.08 nm和0.41 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
3	郭彤	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	46	370	11.0	17.0
4	胡春光	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	37	333	10.0	16.0
5	陈津平	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	30	267	10.0	15.0