基于Petrinet的半导体代工系统建模及案例研究

• 作者: 刘仲英 邵志芳 钱省三
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 整合性定义方法论 Petri网 代工厂 建模
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 观察与思考
• 页码范围: 810-814
• 页数: 5页
• 分类号: TN3
• 字数: 2308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.11.003

摘要

提出了一种IDEF0与Petri net相结合的建模方法,利用IDEF0静态模型对车间内的系统及各子系统之间的相互关系进行详细描述,利用Petri网的静态及动态特性描述了该系统中存在的回流、并发、资源共享、随机性的重做以及突发性设备故障等现象.以一个代工厂光刻系统为例,对该建模方法进行了具体介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘仲英	同济大学经济与管理学院	144	3170	28.0	50.0
2	邵志芳	同济大学经济与管理学院	6	53	6.0	6.0