ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究

• 作者: 孙明霞 张树人 李波 杜善义 杨成韬 郑泽渔 陈祝
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 陶瓷靶 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 择优取向
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1011-1017
• 页数: 7页
• 分类号: N304|TB43
• 字数: 3215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.04.040

摘要

利用固相反应制备了直径为70mm,厚度为10～15mm高质量掺杂Li2CO2的ZnO陶瓷靶材,实验了不同摩尔浓度的Li+掺杂对靶材性能的影响,确定了最佳Li+掺杂量为2.2mol%,同时通过在不同温度烧结实验、不同成型压力实验确定了ZnO靶材制备的最佳工艺,并采用所制备的ZnO-Li2.2%陶瓷靶和RF(射频磁控)技术在Si(100)、玻璃(载玻片)、及Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备出高度c轴(002)择优取向的ZnO薄膜,其绝缘电阻率ρ为4.12×108Ω·cm,达到了声表面波器件(SAW)的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜善义	哈尔滨工业大学复合材料研究所	217	5341	36.0	63.0
2	张树人	电子科技大学微电子与固体电子学院	187	1176	16.0	24.0
3	陈祝	成都信息工程学院通信工程系	15	74	6.0	8.0
5	杨成韬	电子科技大学微电子与固体电子学院	67	255	8.0	12.0
6	李波	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	486	12.0	17.0
9	孙明霞	电子科技大学微电子与固体电子学院	3	13	2.0	3.0
10	郑泽渔	电子科技大学微电子与固体电子学院	4	16	3.0	4.0