φ60mm掺碲GaP单晶的研制

• 作者: 徐小林 林泉 金攀
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 液封直拉 浮舟技术 X射线双晶衍射
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 847-850
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 3042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.11.013

摘要

用高压液封直拉法制备大直径GaP单晶重要的是控制拉制参数,如埚位、氧化硼厚度、热场、晶体坩埚直径比等.实验采用浮舟技术控制晶体直径,调整和控制参数使得晶体固液界面在拉制过程中始终凸向熔体,这对获得单晶非常重要.分析了晶体中电阻率、载流子浓度分布及位错分布.采用X射线双晶衍射对晶体质量进行了测试分析.