聚焦离子束系统在微米/纳米加工技术中的应用

• 作者: 吴卫东 唐永建 张继成
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束 刻蚀 沉积 离子注入 微区分析与加工 无掩膜曝光
• 年，卷（期）: 2006,（z2）
• 所属期刊栏目: 纳米合成材料与技术
• 页码范围: 40-43,46
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 字数: 3967字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2006.z2.012

摘要

聚焦离子束系统是微细加工和分析的主要技术之一,是一个完美的微米/纳米技术研究平台.简述了聚焦离子束系统的组成和主要功能,着重介绍了近年来该技术在离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、离子束辅助沉积、离子注入、微区分析、掺杂和成像以及无掩膜曝光等微米/纳米加工领域的应用,并对未来的发展前景进行了简要分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
3	张继成	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	29	254	9.0	15.0