精确高效的渐变结构片上螺旋电感的电感值分析技术

• 作者: 丁艳芳 刘贇 唐深群 朱骏 王勇 石艳玲 罗天星 赵宇航 陈寿面
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面螺旋电感 分圈迭代算法 渐变结构电感
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1616-1620
• 页数: 5页
• 分类号: TN454
• 字数: 3077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.09.021

摘要

与传统的金属线宽和间距固定不变的无源片上螺旋电感相比,线宽和间距由外圈到内圈渐变的新型结构电感能有效提高电感品质因子.这种新结构电感的出现使得Jenei等人提出的闭合电感公式已不再适用于其电感值的计算,而改进的wheeler公式计算误差又较大.针对这种情况,文中提出了一种以圈为单位分圈迭代求自感,用整体平均法计算互感的平面螺旋电感的电感值计算方法.该算法分析值与HFSS仿真值相比,误差小于3%,与样品测量值相比,误差小于4%.因此该算法具有计算速度快、精度高的特点,能用于渐变结构片上螺旋电感的高效设计,并可缩短设计周期.