固态薄膜电解质LiPON的制备及性能研究

• 作者: 李德湛 程玉龙 胡宗倩 谢凯
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: LiPON 固态电解质 薄膜 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2006,（z2）
• 所属期刊栏目: 能源材料
• 页码范围: 306-308
• 页数: 3页
• 分类号: TM91
• 字数: 2467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2006.z2.089

摘要

采用Li3PO4为靶材,在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质LiPON薄膜.结果表明,在溅射功率150W、工作气压为1.5Pa时,LiPON薄膜离子电导率达3×10-6S/cm,电化学稳定窗口为5V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢凯	国防科学技术大学航天与材料工程学院	56	590	12.0	22.0
2	程玉龙	国防科学技术大学航天与材料工程学院	2	9	2.0	2.0
3	李德湛	国防科学技术大学航天与材料工程学院	7	18	2.0	3.0
4	胡宗倩	国防科学技术大学航天与材料工程学院	3	24	2.0	3.0