什么是晶圆？

• 来源期刊: 电源世界
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆 半导体材料 硅圆片 规格 单晶
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 58
• 页数: 1页
• 分类号: TN304

摘要

晶圆多指单晶硅圆片，由普通硅沙拉制提炼而成，是最常用的半导体材料，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，近年来发展出12英寸甚至更大规格。