MEMS固体微推进器中Cr薄膜点火电阻的研究

• 作者: 万红 吴学忠 徐超 李兆泽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微推进器 点火电阻 铬薄膜 点火电压
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳制造
• 页码范围: 1411-1414,1418
• 页数: 5页
• 分类号: TM5
• 字数: 3496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.026

摘要

点火电路是MEMS固体化学微推进器中最重要的组成部分,其点火电压的大小及点火可靠性则主要取决于点火电阻.国内外均采用多晶硅(polysilicon)或贵金属铂(Pt)作为点火电阻材料,所制备出来的点火电阻的阻值都比较大,需要的点火电压较高(40 V以上),而且点火可靠性不高,难以满足固体微推进器的使用要求.本文首次采用金属铬(Cr)作为点火电阻材料,设计了具有高可靠性的并联点火电阻图形,通过磁控溅射镀膜、光刻以及Cr的湿法腐蚀工艺制备出了Cr薄膜点火电阻,并在20伏左右的低电压下成功地实现了常规火药黑索金的点火,为低点火电压、低成本、高可靠性的点火电路的制备提供了一条有效的技术途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程与自动化学院	70	934	18.0	28.0
2	万红	国防科技大学航天与材料工程学院	17	230	11.0	15.0
3	徐超	国防科技大学航天与材料工程学院	5	43	3.0	5.0
4	李兆泽	国防科技大学机电工程与自动化学院	2	38	2.0	2.0