MgxZn1-xO薄膜的结构特性研究

• 作者: 张锡健 王卿璞 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: MgxZn1-xO 射频磁控溅射 结构特性
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 235-238
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.01.039

摘要

采用射频磁控溅射法在80℃衬底温度下制备了MgxZn1-xO(x=0.23)薄膜,用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、喇曼(Raman)光谱和原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的结构特性.XRD和HRTEM分析结果表明MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,且具有沿c轴的择优取向,晶格常数与ZnO晶体的近似相等.Raman光谱不仅揭示MgxZn1-xO薄膜具有六角纤锌矿结构,而且也表明MgxZn1-xO薄膜的结晶质量比在相同条件下制备的ZnO薄膜好.AFM图像则显示出MgxZn1-xO薄膜为多晶结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
3	王卿璞	山东大学物理与微电子学院	32	527	13.0	22.0
4	张锡健	山东大学物理与微电子学院	18	195	7.0	13.0