硅微机械谐振式陀螺仪的技术研究

• 作者: 王寿荣 盛平 许宜申
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 陀螺 频率输出 双端音叉谐振器
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TN710
• 字数: 1047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2006.10.003

摘要

介绍了硅微机械谐振式陀螺仪的工作原理,设计了一种新型微机械谐振式陀螺,并用有限元方法进行了仿真,制造了一批样机,进行了初步的驱动特性实验.结果表明,该微机械谐振陀螺仪实际驱动模态的谐振频率与仿真值的最大误差小于6%,满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王寿荣	东南大学仪器科学与工程系	94	1158	19.0	28.0
2	许宜申	东南大学仪器科学与工程系	11	162	8.0	11.0
3	盛平	东南大学仪器科学与工程系	13	204	8.0	13.0