OLED Mg/Ag阴极的真空蒸镀及成膜特性

• 作者: 刘倩 张方辉 李亚利
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 有机电致发光显示器 Mg阴极 Ag阴极 真空蒸镀 成膜特性
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(先进工艺技术)
• 页码范围: 743-746
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2053字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.10.006

摘要

探讨了Mg阴极和Ag阴极的真空蒸镀工艺,Mg蒸镀电流在85A左右时压强开始迅速上升,但Mg原子并未被蒸镀到基底上.随着压强值迅速下降至约上升前的压强值2.6×10-3Pa时,Mg原子开始被蒸镀到玻璃基底上,这与Ag等其他金属阴极材料的蒸镀过程有很大不同.研究还发现热处理可以使Mg薄膜更加致密,表面粗糙度降低,附着力增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张方辉	陕西科技大学电气与电子工程学院	150	773	13.0	20.0
2	刘倩	陕西科技大学电气与电子工程学院	16	48	5.0	5.0
3	李亚利	陕西科技大学材料科学与工程学院	5	49	3.0	5.0