终端式MEMS微波功率传感器的结构模拟

• 作者: 廖小平 范小燕
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 共面波导 终端电阻 热电堆 MEMS 传感器
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 50-52,56
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.04.017

摘要

在工艺流程以及材料选择的基础上,用Coventorware和HFSS对间接加热终端式MEMS微波功率传感器进行了模拟与设计.模拟结果包括共面波导(CPW)与终端电阻上的温度分布,以及热电堆的接近对CPW性能的影响.确定了热偶对数为50,热电堆与CPW之间的距离为50 μm,并选择了GaAs和Au作为热电偶的两臂,TaN作终端电阻.