隧道结TiOx线宽度对隧穿现象的影响

• 作者: 刘庆纲 匡登峰 张世林 张超艳 李敏 胡小唐 郭维廉
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: AFM阳极氧化 氧化钛线 隧道结 大气湿度 超高速光导开关
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1453-1457
• 页数: 5页
• 分类号: TN16
• 字数: 3151字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.08.023

摘要

在新型超高速光导开关的研究中,采用AFM阳极氧化加工方法,加工利用磁控溅射方法在GaAs衬底得到的厚约3nm的钛膜,形成纳米级氧化钛线.该Ti-TiOx-Ti形成MIM隧道结作为光导开关的基本结构,并且TiO x作为电子的能量势垒.为说明氧化线的宽度对隧穿现象的影响,确定加工超高速光导开关时不引起隧穿的最窄线宽及其实验条件,通过控制空气中的相对湿度,在加工速度、氧气浓度和偏置电压不变的条件下,加工出宽度分别为15.6,34.2和46.9nm的钛氧化线,测试了不同宽度氧化线隧道结的I-V特性.结果表明,在两电极的偏压为6V时不引起隧穿的前提下,可以在超高速光导开关两电极间加工最小宽度大约为10nm的氧化钛线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘庆纲	天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室	45	189	8.0	10.0
2	胡小唐	天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
3	张超艳	天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室	4	3	1.0	1.0
4	李敏	天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室	24	267	9.0	16.0
5	张世林	天津大学电子信息工程学院	109	334	8.0	11.0
6	郭维廉	天津大学电子信息工程学院	145	419	10.0	12.0
7	匡登峰	南开大学信息技术科学学院光学研究所	7	14	3.0	3.0