新型快速准分子激光微加工方法制备毛细管电泳芯片的研究

• 作者: 任康宁 刘世炳 刘莹 吴坚 姚李英 罗国安 陈涛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 毛细管电泳芯片 准分子激光 微加工 刻蚀 聚合物
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微流控器件与技术
• 页码范围: 2004-2007
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 2698字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.182

摘要

选用聚合材料聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)代替玻璃,石英等作为毛细管电泳芯片的基片材料.在19 kV,5 Hz及5mm/min的加工参数下,采用新型快速准分子激光微加工方法完成了毛细管电泳芯片的制备.实验结果表明该方法加工过程简单,耗时短,自动化程度高,有效提高了芯片成品率和加工质量.芯片与相同尺寸的盖片在105℃、160 N、恒温20 min条件下通过热压键合在一起,得到密闭性好的整体芯片.最后在芯片上应用激光诱导荧光检测法对Cy5染料完成了分离检测,获得了重复性很好的检测信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	北京工业大学激光工程研究院	31	375	10.0	19.0
2	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
3	刘世炳	北京工业大学激光工程研究院	33	139	7.0	10.0
4	吴坚	北京工业大学激光工程研究院	14	40	3.0	6.0
5	任康宁	清华大学分析中心	2	23	2.0	2.0
6	姚李英	北京工业大学激光工程研究院	11	86	5.0	9.0
7	罗国安	北京工业大学激光工程研究院	1	3	1.0	1.0