电子电镀中若干新工艺和新技术

• 作者: 郁祖湛
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 工学
• 关键词: 电子电镀 芯片电镀 电化学机械研磨 微机电系统电镀 不溶性阳极 镀铂铌电极 无铅无镉化学镀镍 碱性蚀刻液再生 铜回收
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 发展论坛
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TQ15
• 字数: 2844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-227X.2006.09.002

摘要

介绍了电子电镀中的若干新工艺新技术,如芯片电镀、电化学机械研磨、微机电系统电镀、不溶性阳极电镀铜、镀铂铌电极以及无铅无镉中磷光亮化学镀镍、碱性蚀刻液再生和铜回收系统等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郁祖湛	复旦大学化学系	26	234	9.0	14.0