超精密定位平台的测量系统研究

• 作者: 李欣欣 王文
• 来源期刊: 机电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密平台 测量系统 平面编码器
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 电工·电器·仪表
• 页码范围: 13-16,34
• 页数: 5页
• 分类号: TP274+.5
• 字数: 2772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4551.2006.04.004

摘要

超精密工作平台已经成为IC和MEMS等行业完成加工、测量工作的基本设备平台.如何提高平台测量系统的精度,从而提高平台的定位精度是目前超精密工作平台所面临的一大难题.对现有的超精密工作平台的基本结构以及常见的精密测量系统进行了综合分析,详细介绍了一种新型的测量装置--平面编码器的工作原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文	浙江大学现代制造工程研究所	73	1409	20.0	34.0
2	李欣欣	浙江大学现代制造工程研究所	7	65	3.0	7.0