BJ016E器件热变形的全息干涉研究

• 作者: 崔大付 耿照新 胡毅
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 可靠性 全息干涉 热力耦合
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 光全息与信息处理
• 页码范围: 48-49
• 页数: 2页
• 分类号: TN247
• 字数: 2917字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2006.02.022

摘要

采用二次曝光和实时全息干涉技术对BJ016E器件进行了实验测试,获得了不同功率条件下BJ 016E表面的离面位移分布以及离面位移随时间的三组动态变化图像.结果表明,随功率的增大器件的离面翘曲量增大,热源区附近的离面翘曲量变化较快而且较大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所	77	974	17.0	27.0
2	耿照新	中国科学院电子学研究所	15	75	5.0	8.0