节水技术在半导体制造企业的应用

• 作者: 何义亮 厉晓华
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 超纯水 回收率 酸洗机 化学机械抛光
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(环保、洁净与清洗技术)
• 页码范围: 653-655
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3054字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.09.004

摘要

介绍了集成电路制造中的用水,讨论了节水在该行业中的重要性.详细分析了用水的特征和可能实现的节水手段和方法,特别阐述了如何对生产过程中使用的超纯水进行节流回收和再利用有价值的废水,为实现环保节能的集成电路制造企业提供了现实可行的操作依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何义亮	上海交通大学环境科学和工程学院	105	1176	18.0	31.0
2	厉晓华	上海交通大学环境科学和工程学院	2	8	1.0	2.0