微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究

• 作者: 冯进军 朱正鹏 瞿波 缪晻 金玉丰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 真空电子技术 有限积分方法 微机电系统
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光微纳器件
• 页码范围: 1757-1760
• 页数: 4页
• 分类号: TN01
• 字数: 2171字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.118

摘要

在太赫兹频段,折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点.介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管,优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸,并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性.文章还对该类折叠波导慢波结构的微加工技术进行了初步的探讨,提出了基于ICP体硅深刻蚀、无电镀铜等组合工艺方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	瞿波	北京真空电子研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室	17	66	5.0	7.0