32信道聚合物阵列波导光栅的制作与测试

• 作者: 唐晓辉 张国伟 张大明 许英朝 鄂书林
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: 阵列波导光栅 聚合物 回融技术
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 专题聚焦
• 页码范围: 22-23
• 页数: 2页
• 分类号: TN253
• 字数: 1653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5561.2006.06.007

摘要

对一个32通道的聚合物阵列波导光栅进行了研究和制作.经过旋涂、光刻、反应离子刻蚀等工艺过程,利用A1掩膜技术和回融技术进行了器件的制作.实验结果表明,回融技术使样本的波导表面的均方根粗糙度降低了约0.02μm.测试结果表明,器件的结构指标与理论设计值基本相符,并且波导在C波段上实现了单模传输.器件的插入损耗约为35dB,相邻通道串扰小于-20dB,很好地实现了波分复用功能.