超声键合过程中键合压力特性的实验研究

• 作者: 广明安 韩雷
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超声键合 键合压力 动态压电测力传感器
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 607-611
• 页数: 5页
• 分类号: TN405.96
• 字数: 2418字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2006.08.013

摘要

建立了超声键合压力的测量工作台,对工作台进行静态线性度标定和动态重复性测量,利用动态压电测力传感器对超声键合系统键合压力大小进行测量,得出不同压力作用下传感器力响应曲线图,分析其频谱图,发现保持某一固定功率(4.5格2.25W),可以找到合适的键合压力(5格0.719N)与其匹配.这些实验现象和结果可作为超声键合过程参数匹配及优化的依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩雷	中南大学机电工程学院	78	614	14.0	20.0
2	广明安	中南大学机电工程学院	3	18	2.0	3.0