超薄类金刚石膜生长和结构特性的分子动力学模拟

• 作者: 王慧 胡元中 马天宝
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: DLC膜 分子动力学模拟 sp3杂化比例
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 2922-2927
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 5000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.06.045

摘要

利用分子动力学模拟方法研究了2-3nm厚的类金刚石(DLC)薄膜在金刚石基体(100)表面上的生长过程.分析了用来表征沉积后无定型碳膜质量的重要结构特性,如sp3杂化比例、薄膜密度、径向分布函数等,计算结果和现有的实验结果基本一致.不同入射原子能量对结构特性进而对薄膜性能有重要影响,入射原子能量在20-60eV时,薄膜可以获得最优性能.载能原子入射是生长均匀、连续、致密固体薄膜的前提,稳定的中间区域对于保证薄膜优良的力学性质是必需的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王慧	清华大学摩擦学国家重点实验室	103	1846	25.0	39.0
2	胡元中	清华大学摩擦学国家重点实验室	51	802	16.0	26.0
3	马天宝	清华大学摩擦学国家重点实验室	5	30	2.0	5.0