硅微仿生矢量水声传感器研制

• 作者: 张文栋 张斌珍 熊继军 薛晨阳 谢斌 陈尚
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 仿生学 矢量水声传感器 微机电器件
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 声微纳器件与技术
• 页码范围: 2300-2303
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2208字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.262

摘要

根据鱼类侧线听觉仿生学原理,设计出硅微仿生矢量水声传感器结构.该传感器结构包括高精度压阻式硅微换能单元结构和空芯光子晶体光纤柱体.讨论了水声传感器结构的仿生学原理和声学原理.用有限元软件Ansys分析传感器的应力分布,讨论了传感器的加工工艺,并采用气流静态加载法测试出传感器的矢量指向性图,测试结果表明,仿生水声传感微结构具有"8字型"矢量指向性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	熊继军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	111	702	13.0	19.0
4	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室	107	535	12.0	18.0
5	陈尚	中北大学电子测试技术国家重点实验室	8	155	6.0	8.0
6	谢斌	中北大学电子测试技术国家重点实验室	5	93	4.0	5.0