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吸附效应对硅纳米梁谐振频率的影响研究
吸附效应对硅纳米梁谐振频率的影响研究
作者:
于虹
刘同庆
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
吸附解吸附
空气阻尼
频率偏移
摘要:
理论分析了吸附效应对双端固支纳米谐振梁特性的影响.吸附效应主要考虑质量变化带来的影响.推导了吸附效应影响下的频率偏移,并与空气阻尼对谐振频率的影响进行了比较.结果显示吸附效应引起的频率偏移在1‰左右.与空气阻尼效应相比,吸附效应对频率的影响更大.文章还分析了频率偏移与压强,温度和梁尺寸的关系.
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文献信息
篇名
吸附效应对硅纳米梁谐振频率的影响研究
来源期刊
电子器件
学科
工学
关键词
吸附解吸附
空气阻尼
频率偏移
年,卷(期)
2006,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1375-1378
页数
4页
分类号
TN402
字数
3196字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1005-9490.2006.04.097
五维指标
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被引次数趋势
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研究主题发展历程
节点文献
吸附解吸附
空气阻尼
频率偏移
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子器件
主办单位:
东南大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1005-9490
CN:
32-1416/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号
邮发代号:
创刊时间:
1978
语种:
chi
出版文献量(篇)
5460
总下载数(次)
21
相关基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
农业
期刊文献
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