吸附效应对硅纳米梁谐振频率的影响研究

• 作者: 于虹 刘同庆
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 吸附解吸附 空气阻尼 频率偏移
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 1375-1378
• 页数: 4页
• 分类号: TN402
• 字数: 3196字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2006.04.097

摘要

理论分析了吸附效应对双端固支纳米谐振梁特性的影响.吸附效应主要考虑质量变化带来的影响.推导了吸附效应影响下的频率偏移,并与空气阻尼对谐振频率的影响进行了比较.结果显示吸附效应引起的频率偏移在1‰左右.与空气阻尼效应相比,吸附效应对频率的影响更大.文章还分析了频率偏移与压强,温度和梁尺寸的关系.