LIGA技术在先进模具制造中的应用

• 作者: 伊福廷 张菊芳
• 来源期刊: 模具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 LIGA技术 微细加工技术 先进模具技术
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TG76

摘要

LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史，已在世界各地发展起来，带动和激发了微机电系统——MEMS（Microelectromechanical System）加工热潮。经过十几年的努力，LIGA技术日已成熟，在很多领域内得到了应用。LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称，结构高宽比可达100以上，结构厚度可在1毫米以上，是其他任何加工技术所不能够相比的。这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用，提供了坚实的技术基础。该技术的目标就是制造模具，用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具。通过对该技术以及北京同步辐射的LIGA技术发展现状和应用的介绍。希望对同仁有所帮助。共同推进该技术在模具制造领域内的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伊福廷	中科院高能物理研究所同步辐射室	4	49	2.0	4.0
2	张菊芳	中科院高能物理研究所同步辐射室	3	47	2.0	3.0