原文服务方: 材料工程       
摘要:
用电偶腐蚀法制备多孔硅,主要研究了铂电极的优化制备工艺以及腐蚀条件对多孔硅厚度的影响,并且结合SEM,AFM等测试手段对所制备的多孔硅的表面形貌进行了分析.实验发现,在相同的腐蚀条件下,多孔硅的厚度随铂电极的厚度以及铂电极与腐蚀硅片的面积比的增大而增大.
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文献信息
篇名 电偶腐蚀法制备多孔硅的研究
来源期刊 材料工程 学科
关键词 多孔硅 电偶腐蚀法 腐蚀条件 厚度 表面形貌
年,卷(期) 2006,(11) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 45-48,52
页数 5页 分类号 TN402
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-4381.2006.11.010
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 胡明 天津大学电子信息工程学院 139 1336 19.0 28.0
2 房振乾 天津大学电子信息工程学院 11 150 6.0 11.0
3 梁继然 天津大学电子信息工程学院 31 108 6.0 8.0
4 窦雁巍 天津大学电子信息工程学院 13 165 8.0 12.0
5 宗杨 天津大学电子信息工程学院 5 55 4.0 5.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
多孔硅
电偶腐蚀法
腐蚀条件
厚度
表面形貌
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料工程
月刊
1001-4381
11-1800/TB
大16开
北京81信箱-44分箱
1956-05-01
中文
出版文献量(篇)
5589
总下载数(次)
0
总被引数(次)
57091
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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