玻璃衬底上p型ZnO薄膜的制备

• 作者: 孙建 张存善 张晓丹 王锐 范红兵 赵颖 魏长春
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO p型传导 喷雾热分解 N-Al共掺
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 1332-1336
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2288字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.06.037

摘要

本文主要采用超声喷镀法在玻璃衬底上制备了N-Al共掺的p型ZnO薄膜.研究了前驱溶液的不同配比对薄膜电学、结构特性的影响.X射线衍射的结果显示:共掺与本征ZnO具有很相似的结晶特性.霍耳测试结果表明:随着Al原子掺入量的逐渐增加,制备ZnO的类型逐渐由n型转换成p型,进一步提高后又转换成n型,文中对其中的原因进行了讨论.在普通玻璃衬底上制备出了空穴浓度达到4.6×1018cm-3,同时迁移率和电阻率分别为0.4cm2·V-1·s -1、3.3Ω·cm的p型ZnO薄膜.