氮化铝陶瓷薄膜热导率的分子动力学模拟

• 作者: 杨平 沈敏 王鸣
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热导率 氮化铝薄膜 分子动力学 声子
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳尺度性能
• 页码范围: 1667-1669
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 2264字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.094

摘要

采用平衡分子动力学方法(EMD)研究了平衡温度为300K的氮化铝薄膜的法向热导率.利用Stillinger-Weber势函数以及Green-Kubo线性响应理论计算热导率.计算结果表明,氮化铝薄膜的热导率值显著小于对应大体积材料的实验值,具有明显的尺寸效应.在氮化铝薄膜为1.47～5.39 nm的范围内,氮化铝薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而近似的线性增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨平	江苏大学微纳米科学技术研究中心	39	198	8.0	11.0
2	沈敏	江苏大学微纳米科学技术研究中心	13	139	7.0	11.0
3	王鸣	江苏大学微纳米科学技术研究中心	3	1	1.0	1.0