Au/SiO2纳米多层薄膜的制备及其性质表征

• 作者: 张波萍 张海龙 张芸 李向阳 焦力实
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Au/SiO2纳米复合薄膜 多靶磁控溅射 吸收光谱 有效介质理论
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 3730-3735
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3503字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.089

摘要

利用多靶磁控溅射技术制备了Au/SiO2纳米颗粒分散氧化物多层复合薄膜.研究了在保持Au单层颗粒膜沉积时间一定时薄膜厚度一定、变化SiO2的沉积时间及SiO2的沉积时间一定而改变薄膜厚度时,多层薄膜在薄膜厚度方向的微观结构对吸收光谱的影响.研究结果表明:具有纳米层状结构的Au/SiO2多层薄膜在560nm波长附近有明显的表面等离子共振吸收峰,吸收峰的强度随Au颗粒的浓度增加而增强,在Au颗粒浓度相同的情况下,复合薄膜光学吸收强度随薄膜厚度的增加而增强.但当金属颗粒的浓度增加到一定程度时,金属颗粒相互接触,没有观察到纳米层状结构,薄膜不显示共振吸收峰特征.用修正后的M-G(Maxwell-Garnett)理论对吸收光谱进行了模拟,得到了与实验一致的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张波萍	北京科技大学材料科学与工程学院	40	246	9.0	14.0
2	焦力实	北京科技大学材料科学与工程学院	5	17	3.0	4.0
3	张芸	北京科技大学材料科学与工程学院	4	13	2.0	3.0
7	李向阳		21	164	8.0	12.0
8	张海龙	北京科技大学材料科学与工程学院	26	209	7.0	13.0