化学汽相沉积及聚合—聚对二甲苯厚膜的生成与特性

• 作者: 侯力群
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 聚对二甲苯 化学汽相沉积 聚合物 特性 厚膜 沉积设备 生成膜
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 页码范围: 6-7
• 页数: 2页
• 分类号: TQ323.2

摘要

自1947年聚对二甲苯被发现后，人们就对该类聚合物表现出了极大的兴趣并进行了大量的研究。到目前已经发表了很多的关于聚对二甲苯及其特性的论文，但还没有一本这方面的专著。作者编写这本书的目的就是要全面介绍聚对二甲苯和该族聚合物，以及它们的沉积、沉积设备和生成膜的特性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯力群	中国科学院力学研究所	7	8	1.0	2.0