聚酰亚胺(PI)树脂在电容式RF MEMS开关制作中的应用

• 作者: 于映 彭慧耀 王培森 罗仲梓
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 RF MEMS电容式开关 光刻 牺牲层 保护层
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1896-1899
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 3027字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.156

摘要

聚酰亚胺树脂(PI)因其良好的平面化特性、在氧气中易灰化、不完全固化易溶解于碱性显影液、在CHF3等离子气氛中有较强的抗蚀性等性质,在电容RF MEMS开关的制作过程中,应用它作为刻蚀保护层和牺牲层,不但可以使工艺过程得到简化,而且可以对开关的介质层尺寸、牺牲层厚度等图形参数起到很好的控制作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗仲梓	厦门大学萨本栋微机电研究中心	15	225	7.0	15.0
2	于映	福州大学电子系	36	343	8.0	17.0
3	彭慧耀	福州大学电子系	2	10	2.0	2.0
4	王培森	福州大学电子系	2	10	2.0	2.0