关于低功耗气体传感器阵列的研究

• 作者: Harald Boettner Martin Jaegle 李松
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 低功耗 气体传感器 传感器阵列 空气夹层
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.01.014

摘要

由电池驱动以微机械技术制造的气体传感器的功耗是十分关键的实际问题.为了研制低功耗气体传感器,在传感器阵列上表面制备完成后,从下表面腐蚀传感器芯片的基底,以造成传感器芯片和封装室之间形成一个空气夹层.从而对有空气夹层的传感器芯片和没有空气夹层的传感器芯片的能耗做比较.实验结果显示,腐蚀过的传感器芯片具有较低的功耗.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李松	天津大学精仪学院	21	179	9.0	13.0