谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计

• 作者: 何鹏举 徐苛杰 戴冠中 陈明
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: SAW压力传感器 敏感片结构 谐振器位置 有限元
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 374-378
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 4608字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.02.026

摘要

量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法.通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴冠中	西北工业大学自动化学院	280	4169	31.0	53.0
2	陈明	西北工业大学自动化学院	184	2365	24.0	38.0
3	何鹏举	西北工业大学自动化学院	56	503	13.0	20.0
7	徐苛杰		4	46	3.0	4.0