大面积表面波等离子体的特性研究

• 作者: 但敏 刘明海 李斌 江中和 石岛芳夫 胡希伟 菅井秀郎
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 表面波等离子体 狭缝天线 数值模拟 探针测量
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 5905-5908
• 页数: 4页
• 分类号: O53
• 字数: 1860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.054

摘要

介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源,通过对垫层介质及天线结构的优化设计,产生了大面积均匀的等离子体.采用静电探针测量了等离子体参数(密度,电子温度)在不同运行条件(气压,功率)下的空间分布;采用扩散模型,数值模拟了等离子体密度在垂直方向上的空间分布,并比较好地解释了实验测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡希伟	华中科技大学电气与电子工程学院	21	319	9.0	17.0
2	李斌	华中科技大学电气与电子工程学院	202	3221	31.0	49.0
3	江中和	华中科技大学电气与电子工程学院	10	127	6.0	10.0
4	刘明海	华中科技大学电气与电子工程学院	27	375	9.0	19.0
5	但敏	华中科技大学电气与电子工程学院	6	163	5.0	6.0