电子束重复增量扫描生成三维结构的研究

• 作者: 卢文娟 张玉林 郝慧娟 魏强
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: DSP 图形发生器 电子束光刻 三维加工 灵敏度
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1326-1330
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.07.034

摘要

针对三维曝光图形的结构特点,结合自行设计的图形发生器,提出了电子束重复增量扫描方式及曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算方法.根据计算得到的剂量关系,按照重复增量扫描方式,在SDS-3电子束曝光机上进行了曝光实验,显影后得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥的三维结构.因此,重复增量扫描方式可以用于三维结构的加工,并且关于曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算可以为其提供符合实际曝光的参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林	山东大学控制学院电子束研究所	56	465	11.0	19.0
2	魏强	山东大学控制学院电子束研究所	14	155	7.0	12.0
3	卢文娟	山东大学控制学院电子束研究所	7	89	4.0	7.0
4	郝慧娟	山东大学控制学院电子束研究所	5	49	3.0	5.0