平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究

• 作者: 丁桂甫 戴旭涵 杨昊宇 赵小林 邵国成
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 继电器 电磁驱动 非线性磁路
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1920-1923
• 页数: 4页
• 分类号: TP3
• 字数: 2265字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.162

摘要

介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结果表明考虑线圈绕组半径不同而产生的分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型,便于定量分析微驱动器结构物理参数对于磁通分布和电磁力的影响,从而为进一步优化设计该微电磁驱动器提供了理论分析依据.