表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化

• 作者: 刘理天 庄志伟 王喆垚
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压阻 SOI 表面应力测量 悬臂梁 传感器
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1844-1850
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 4312字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.10.029

摘要

研究了基于SOI(silicon on insulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响,提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1.8×10-3m/N,分辨率为8.5×10-5N/m,弹性系数为0.023N/m,谐振频率为1.3×104Hz的设计参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	王喆垚	清华大学微电子学研究所	16	139	6.0	11.0
3	庄志伟	清华大学微电子学研究所	1	4	1.0	1.0