微小激光曝光区域温度分布均匀化整形方法

• 作者: 刘学智 刘霖 叶玉堂 吴云峰 方亮 王华明
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 温度均匀化 二元光学元件 液晶空间光调制器
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微细加工技术
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 1894字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2006.04.013

摘要

提出了实现光束曝光区温度分布均匀化的方法.该方法主要是充分利用二元光学法和液晶空间光调制的各自优点,并按照设计系统的要求,最大程度避免二元光学法使用不灵活而液晶空间光调制激光能量利用率不高的缺点,实现温度分布均匀化系统优化.为研究该方法的可行性,首先通过遗传算法设计一个16台阶的二元光学整形器件;针对二元光学只能应用于特定条件下的缺点,再引入液晶空间光调制方法,该方法可以对入射光束进行实时、可调控的整形,实现对曝光区温度分布进行实时控制.理论分析和仿真结果都表明,两种方法按照实际需要进行选择,可以有效地实现光束曝光区温度分布均匀化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
2	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
3	刘霖	电子科技大学光电信息学院	73	411	11.0	16.0
4	方亮	电子科技大学光电信息学院	17	144	7.0	11.0
5	王华明	电子科技大学光电信息学院	2	7	1.0	2.0
6	刘学智	电子科技大学光电信息学院	5	11	2.0	3.0