基于聚焦探测法的非接触表面形貌测量仪的研究

• 作者: 孙艳玲 谢铁邦
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦探测 表面形貌测量 Z向精密位移工作台 压电陶瓷 衍射光栅
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2846字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2006.07.002

摘要

介绍了一种基于光驱聚焦探测技术的光触针式表面形貌测量系统.测量光束聚焦于被测表面上,当被测表面高度变化时,Z向精密位移工作台在步进电机和压电陶瓷的粗、精两级驱动下,使得工件沿垂直方向移动,让焦点始终聚焦在被测表面上,工作台的位移反映了工件表面高度的变化,该位移量由衍射光栅干涉位移传感器测得.该系统的垂直分辨力为1nm,垂直测量范围为2mm左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械学院仪器系	92	848	17.0	24.0