一种新型微空阴极结构的大气压射频冷等离子体源

• 作者: 任兆杏 孟月东 裘亮 钟少锋
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微空阴极 大气压 冷等离子体 射频
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 5872-5877
• 页数: 6页
• 分类号: O53
• 字数: 4643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.049

摘要

介绍微空阴极的结构和物理机理,着重介绍一种新型大气压下射频激励的大面积冷等离子体源--融合空心阴极(fused hollow cathodes,FHC).结合应用和与之有关的研究,简单介绍空心阴极的放电特性,以及影响其放电特性的因素,如阴极材料、气体种类、频率、气体流速、气压、阴极内径等.另外提到了其他两种相关的微空阴极系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟月东	中国科学院等离子体物理研究所	40	478	9.0	21.0
2	任兆杏	中国科学院等离子体物理研究所	20	209	9.0	14.0
3	钟少锋	中国科学院等离子体物理研究所	5	214	3.0	5.0
4	裘亮	中国科学院等离子体物理研究所	1	4	1.0	1.0