利用有机-无机溶胶-凝胶方法制备平面波导环形谐振腔

• 作者: 庞拂飞 方祖捷 瞿荣辉 蔡海文 韩秀友
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 环形谐振腔 溶胶-凝胶 热光系数
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 591-595
• 页数: 5页
• 分类号: TN252
• 字数: 2853字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.05.004

摘要

采用简单的有机-无机混合的溶胶-凝胶方法制备了折射率在一定范围内可调的波导材料,并利用其制备了平面波导环形谐振腔器件.波导结构呈现倒脊形,其制备工艺首先是利用感应耦合等离子体刻蚀技术(ICP)在二氧化硅衬底上刻蚀波导结构的凹槽,然后再沉积波导薄膜.利用光谱仪对器件的传输特性进行了测量,观测到具有10 dB对比度,自由光谱范围0.182 nm周期性谐振现象,结合环形谐振腔的传输特性,得到环形腔具有较低的传输损耗1.7 dB/cm.同时对环形谐振腔的温度特性进行了测量,得出波导材料的热光系数为-1.54×10-4/℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡海文	中国科学院上海光学精密机械研究所	102	888	17.0	27.0
2	瞿荣辉	中国科学院上海光学精密机械研究所	117	1459	21.0	34.0
3	方祖捷	中国科学院上海光学精密机械研究所	158	2256	27.0	39.0
4	庞拂飞	中国科学院上海光学精密机械研究所	14	168	9.0	12.0
5	韩秀友	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	182	8.0	13.0